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產品導航
當前位置: 首頁 產品中心 可靠性測試設備 動態老化測試系統 動態老化測試系統 高溫動態柵偏老化測試系統 (DHTGB2010)

高溫動態柵偏老化測試系統(DHTGB2010)

該系統針對第三代SiC MOSFET具有動態柵偏老化測試能力,每塊試驗區可獨立老化測試12工位,獨立12路可配置脈沖,測試柵極漏電流相互之間不干擾。可為器件提供室溫~200°C的試驗溫度。具有試驗器件短路脫離試驗功能,可自動將故障器件脫離老化試驗回路,不影響其他器件的正常試驗。

功能

  • 高速dv/dt>1V/ns
  • nA級漏電流測試
  • 閥值電壓測試
  • 可根據不同器件封裝、功率等要求,定制專用老化測試板
  • 充分的實驗員人體安全考慮設定

產品特性

試驗溫度

室溫~200℃(熱板形式加熱)

老化測試區

8區(可擴容)

單區工位

12(典型)

試驗方法

VDS =0V
VGS, off = VGS, min, recom and VGS, on =VGS, max

VGS電壓控制檢測

試驗控制范圍:±30V

檢測誤差:±(1%±2LSB);電壓分辨率:0.01V

脈沖控制

1.脈沖頻率(方波): 0~500kHz; 精度: 2%±2LSB

(最大頻率取決于電壓, DUT電容)

2.方波占空比20%~80%; 精度: ±2%

3.動態DGS試驗時柵極電壓斜率可達dv/dt>1V/ns (Ciss<5nF)

4.電壓過沖<10% (測試電壓幅度大于25V)

閥值電壓VGSTH

1..VGS電壓測控范圍: 1~10V (100nA~50mA恒流源)

2.分辨率為0.01V, 精度: 1%±0.01V

IGS漏電流檢測

檢測范圍: 1nA~99.9uA

第一檔1nA~99nA 分辨率1nA 漏電流測量誤差: 1%±2LSB

第二檔100nA~999nA 分辨率10nA 漏電流測量誤差: 1%±2LSB

第三檔1uA~99.9uA 分辨率100nA 漏電流測量誤差: 1%±2LSB

整機供電

三相AC380V±38V

整機重量

700Kg(典型)

整機尺寸

800mm(w)x1400mm(D)x1950mm(H)

適用標準

AEC-Q101 AQG324 JESD22-A108 JEDEC JEP183A

適用器件

適用于SiC、GaN、IGBT模塊、MOS管